1.真空腔室:Φ350×H400mm;
2.真空极限:≤5.0×10-5Pa;
3.漏率:≤0.8Pa/h;
4.基片台尺寸:Φ100mm范围内可装卡各种规格基片;
真空指标:极限真空优于6.6×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
设备保压:停泵12小时候后,真空≤10Pa;
抽速:空载从大气抽至8.0×10-4Pa≤45min;
真空极限:≤8.0×10-5Pa;
设备保压:停泵12小时候后,设备真空度≤10Pa;可镀基片尺寸/面积:Φ100mm范围内可装卡各种规格基片;
抽速:从大气抽至8.0×10-4Pa≤40min;
设备升压率:≤0.8Pa/h;
设备保压:停泵12小时候后,设备真空度≤10Pa;
极限真空:空载优于5.0×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
抽速:空载从大气抽至5.0×10-4Pa≤40min;
漏率:设备升压率≤0.8Pa/h;
极限真空:空载优于6.0×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
抽速:空载从大气抽至6.0×10-4Pa≤30min;
漏率:设备升压率≤0.8Pa/h;
控制方式:PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统;
真空炉体:Φ350×L550mm(内净尺寸),不锈钢双层水冷结构;
工件加热温度:采用内置钼加热器及多层不锈钢+钼桶热屏蔽层;
加热器材料:钼;
极限温度:≥1200℃;
温控精度:±3℃;
右电极:长度300mm;手动驱动推进电极前进,导轨导向;
控制方式:手动按钮控制方式;
真空腔室:Φ250mm×H350mm,304优质不锈钢真空腔室;
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132.145.22.* 英国伦敦Oracle云计算数据中心网友 ycp655 于2020-12-01 03:49:29发表评论:
信息很齐全!
216.244.66.* 美国加利福尼亚州洛杉矶Wowrack科技公司网友 likegongqi 于2021-02-12 06:28:47发表评论:
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18.118.194.* 美国麻省理工学院网友 yhimtc2069 于2020-04-24 14:52:45发表评论:
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36.99.136.* 中国河南郑州市电信IDC机房网友 nicerapid 于2019-12-11 03:31:31发表评论:
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61.135.15.* 中国北京联通互联网数据中心网友 stcl2046 于2019-08-07 15:04:45发表评论:
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111.7.100.* 中国河南驻马店市移动网友 vmepcl9032 于2019-05-01 00:20:51发表评论:
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114.119.159.* 新加坡华为云网友 swac2259 于2021-07-26 10:47:57发表评论:
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120.235.138.* 中国广东肇庆市移动网友 xdier 于2019-01-27 07:41:39发表评论:
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17.121.115.* 美国Apple网友 aclmpf6827 于2021-02-19 11:22:17发表评论:
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23.234.224.* 美国加利福尼亚州圣克拉拉县卡宁康特利Multacom公司网友 cbacl4728 于2020-05-10 00:06:27发表评论:
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123.123.219.* 中国北京联通网友 shendadl 于2020-04-05 00:19:30发表评论:
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63.150.152.* 美国科罗拉多州丹佛市Qwest通信有限公司网友 zontenmachinery 于2019-10-08 12:02:29发表评论:
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114.119.130.* 新加坡华为云网友 huameilong 于2020-03-29 16:55:21发表评论:
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114.119.137.* 新加坡华为云网友 ruikecheng 于2018-12-30 03:52:41发表评论:
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130.61.57.* 德国法兰克福Oracle云计算数据中心网友 bellahuangtai 于2021-01-04 21:13:12发表评论:
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66.249.66.* 美国Google网友 huazhilin 于2019-11-05 00:50:19发表评论:
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207.46.13.* 美国华盛顿州雷德蒙德市Microsoft公司网友 yaori 于2021-03-18 03:03:52发表评论:
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17.121.115.* 美国Apple网友 xcwc2244 于2019-09-23 16:24:30发表评论:
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216.244.66.* 美国加利福尼亚州洛杉矶Wowrack科技公司网友 mingyiys 于2018-10-19 11:44:59发表评论:
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66.249.72.* 美国Google网友 jcnttpf3422 于2019-03-14 07:22:53发表评论:
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